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2023-07-25
在材料、微電子等研究課題中，制作高品質(zhì)的電極是準(zhǔn)確反映材料或者器件本身性能的前提條件，為此我們需要制作一個高品質(zhì)的電極。在此，光刻中剝離（li...
2023-07-24
（1）負(fù)載效應(yīng) 刻蝕中還存在負(fù)載效應(yīng)，即發(fā)生刻蝕速率變慢的情況。分為宏觀負(fù)載效應(yīng)和微觀負(fù)載效應(yīng)?？涛g面積很大時，因為氣體傳輸受限和刻蝕氣體耗盡...
2023-07-24
原子層沉積（Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在...
2023-07-24
干涉光刻又叫全息光刻，是一種特殊的光刻手段，其特點是可以通過簡單的設(shè)備即可獲得百納米周期性結(jié)構(gòu)。下面我們簡單介紹什么是干涉光刻、干涉光刻的一...
2023-02-21
微納加工中的EMI：是電磁波會與電子元件作用，產(chǎn)生干擾現(xiàn)象。它有以下幾個特點： A、如果國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的話，價格相比較更低。 B、更加環(huán)保...
2023-02-01
微納加工中的硅從石英沙精練出來，對硅元素加以純化便晶圓，它的純度可以達(dá)到百分之九十九，接下來是將些純硅制成硅晶棒，成為制造積體電路的石英半導(dǎo)...
